真空(kong)(kong)泵機(ji)組(zu)是指利(li)用機(ji)械(xie)、物理(li)、化(hua)學或物理(li)化(hua)學的方法對被(bei)抽(chou)容器進行抽(chou)氣而獲得真空(kong)(kong)的器件或設備。通(tong)俗來講，真空(kong)(kong)泵是用各種(zhong)方法在某一封閉空(kong)(kong)間(jian)中改善、產生和(he)維持真空(kong)(kong)的裝(zhuang)置(zhi)。

按真(zhen)空(kong)泵(beng)的工作原理(li)，真(zhen)空(kong)泵(beng)基(ji)本(ben)上可以分為兩種類型，即(ji)氣體捕集泵(beng)和氣體傳輸泵(beng)。其廣(guang)泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜(mo)等行(xing)業。

發展歷史

2SK水環真空泵

隨(sui)著真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)應(ying)用(yong)(yong)(yong)的(de)發展，真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵的(de)種(zhong)(zhong)類已發展了很多種(zhong)(zhong)，其(qi)抽(chou)(chou)(chou)速從每(mei)秒零點幾(ji)(ji)升到每(mei)秒幾(ji)(ji)十萬、數百萬升。隨(sui)著真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)技(ji)術在生產和科學研(yan)究領域中對其(qi)應(ying)用(yong)(yong)(yong)壓強范(fan)圍(wei)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)寬(kuan)，大多需(xu)要(yao)(yao)由幾(ji)(ji)種(zhong)(zhong)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵組成真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)抽(chou)(chou)(chou)氣系統共同(tong)(tong)抽(chou)(chou)(chou)氣后才(cai)能滿足生產和科學研(yan)究過程(cheng)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)，由于真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)應(ying)用(yong)(yong)(yong)部(bu)門所(suo)涉及的(de)工作(zuo)(zuo)(zuo)壓力的(de)范(fan)圍(wei)很寬(kuan)，因此任何一種(zhong)(zhong)類型的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵都不(bu)可能完(wan)全適用(yong)(yong)(yong)于所(suo)有(you)的(de)工作(zuo)(zuo)(zuo)壓力范(fan)圍(wei)，只能根(gen)據不(bu)同(tong)(tong)的(de)工作(zuo)(zuo)(zuo)壓力范(fan)圍(wei)和不(bu)同(tong)(tong)的(de)工作(zuo)(zuo)(zuo)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)，使用(yong)(yong)(yong)不(bu)同(tong)(tong)類型的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵。為了使用(yong)(yong)(yong)方便(bian)和各種(zhong)(zhong)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)工藝過程(cheng)的(de)需(xu)要(yao)(yao)，有(you)時(shi)將各種(zhong)(zhong)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵按其(qi)性能要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)組合起來，以機組型式應(ying)用(yong)(yong)(yong)。

常(chang)用真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)包括干式螺桿(gan)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)、水環泵(beng)(beng)(beng)、往復泵(beng)(beng)(beng)、滑閥(fa)泵(beng)(beng)(beng)、旋片(pian)泵(beng)(beng)(beng)、羅茨(ci)泵(beng)(beng)(beng)和擴散泵(beng)(beng)(beng)等，這些(xie)泵(beng)(beng)(beng)是我國(guo)國(guo)民(min)經濟各行業(ye)應用真(zhen)空(kong)(kong)工藝過程中必不可少的(de)主力泵(beng)(beng)(beng)種。近(jin)年來(lai)， 伴隨著我國(guo)經濟持(chi)續高速發展(zhan)，真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)相(xiang)關下游應用行業(ye)保持(chi)快速增(zeng)長勢頭，同(tong)時在真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)應用領域不斷拓展(zhan)等因(yin)素的(de)共同(tong)拉動(dong)下，我國(guo)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)行業(ye)實(shi)現了持(chi)續穩定地(di)快速的(de)發展(zhan)。

結構特點

1)泵總體結構型式

真空(kong)泵的泵體的布置結構(gou)決(jue)定了泵的總體結構(gou)。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配(pei)和連接(jie)管路都比(bi)較方便。但泵的較高(gao)，在高(gao)速運轉時(shi)穩定性差，故這(zhe)種型式多用于小泵。

臥式泵(beng)的進氣(qi)(qi)口(kou)在(zai)上，排(pai)氣(qi)(qi)口(kou)在(zai)下。有(you)時為了真空系(xi)統管道(dao)安裝連接(jie)方(fang)(fang)便，可將(jiang)排(pai)氣(qi)(qi)口(kou)從(cong)(cong)水(shui)平方(fang)(fang)向接(jie)出，即進、排(pai)氣(qi)(qi)方(fang)(fang)向是相互垂直的。此時，排(pai)氣(qi)(qi)口(kou)可以從(cong)(cong)左或右兩個方(fang)(fang)向開(kai)口(kou)，除接(jie)排(pai)氣(qi)(qi)管道(dao)一(yi)端外，另(ling)一(yi)端堵(du)死或接(jie)旁通閥。這種(zhong)泵(beng)結構低，高速運轉時穩定性好。一(yi)般大、中型泵(beng)多采用此種(zhong)結構。

泵的(de)兩個轉子軸與水(shui)平面垂直安裝。這種結(jie)構裝配間(jian)隙容易控制，轉子裝配方便(bian)，泵占地面積小。但泵較高且齒輪拆(chai)裝不便(bian)，潤滑機構也(ye)相(xiang)對復雜(za)。

2)泵的傳動方式

真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)(de)兩個(ge)轉子是(shi)通過一對(dui)高精度齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)來實現其相(xiang)對(dui)同(tong)步運轉的(de)(de)。主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)軸通過聯軸器與電機聯接(jie)。在傳動(dong)(dong)結構布置上(shang)主(zhu)(zhu)要(yao)有以下(xia)兩種(zhong)：其一是(shi)電動(dong)(dong)機與齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)放(fang)在轉子的(de)(de)同(tong)一側如圖。從動(dong)(dong)轉子由電動(dong)(dong)機端(duan)齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)直接(jie)傳過去帶動(dong)(dong)，這樣主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)轉子軸的(de)(de)扭轉變形小，則(ze)兩個(ge)轉子之間(jian)的(de)(de)間(jian)隙不(bu)會因(yin)主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)軸的(de)(de)扭轉變形大而改變，故使(shi)轉子之間(jian)的(de)(de)間(jian)隙在運轉過程中均(jun)勻(yun)。這種(zhong)傳動(dong)(dong)方式的(de)(de)缺(que)點(dian)是(shi)：a.主(zhu)(zhu)動(dong)(dong)軸上(shang)有三個(ge)軸承(cheng)，增加了泵(beng)的(de)(de)加工和(he)裝配難度，齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)的(de)(de)拆裝及調整也(ye)不(bu)便；b.整體(ti)結構不(bu)勻(yun)稱，泵(beng)的(de)(de)偏向電動(dong)(dong)機和(he)齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)箱一側。

特點

(1)在較寬(kuan)的壓力(li)范圍(wei)內有較大的抽(chou)速；

(2)轉子(zi)(zi)具有良好的幾(ji)何對稱(cheng)性，故振動小，運轉平穩(wen)。轉子(zi)(zi)間(jian)(jian)及轉子(zi)(zi)和殼體間(jian)(jian)均有間(jian)(jian)隙，不用潤滑，摩(mo)擦損(sun)失小，可(ke)大大降低(di)驅動功率，從而可(ke)實現較高(gao)轉速；

(3)泵(beng)腔內無需(xu)用油密(mi)封和(he)潤滑，可減(jian)少油蒸氣(qi)對真空系統的(de)污染；

(4)泵腔內(nei)無(wu)(wu)壓縮，無(wu)(wu)排氣閥(fa)。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰(hui)塵(chen)和水(shui)蒸汽不(bu)敏感；

(5)壓(ya)縮比(bi)較(jiao)低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較(jiao)(jiao)為復(fu)雜的曲(qu)線柱面，加工和檢查比較(jiao)(jiao)困難(nan)。